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  • 產品描述:  適用於3”,5”,7”標準光刻板表麵刷洗工藝1. 設計精巧,手動上下片自動完成清洗。2. 工藝單元靈活選配,配備高壓水、常壓水、毛刷、超聲清洗等單元,有效去除殘留光刻膠及0.5um以上Particle。3. 人機交互接口,操作靈活,維護方便。
  • 產品描述:  軌道式結構,使用毛刷,高壓水,超音波配合工作對芯片進行清洗,滿足0.35µm以上工藝製程.
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