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  • 產品描述:   用於前道300mm規模生產線,滿足90nm光刻的塗膠顯影工藝。  1.堆疊式結構,容納spin單元數量最大為12,包括6個塗膠單元和6個顯影單元。容納熱盤塔數量最大為6,容納熱處理單元數量最大為40。每個塗膠單元最多可以容納8種光刻膠。  2.最高產能達到150WPH。  3.小占地麵積,高可靠性,高穩定性,易於維護,低CoO。  4.客製化開發。 
  • 產品描述:  適用用於前道300mm規模生產線 。滿足90nm光刻的塗膠顯影工藝。1.堆疊式結構,容納spin單元數量最大為4,包括2個塗膠單元和2個顯影單元。容納熱盤塔數量最大為2,容納熱處理單元數量最大為16。每個塗膠單元最多可以容納4種光刻膠。2.最高產能達到80WPH。3.小占地麵積,高可靠性,高穩定性,易於維護,低CoO。4.客製化開發。
  • 產品描述: 適用用於前道200mm規模生產線 。滿足0.18μm光刻的塗膠顯影工藝。1.堆疊式結構,容納spin單元數量最大為4,包括2個塗膠單元和2個顯影單元。容納熱盤塔數量最大為2,容納熱處理單元數量最大為16。每個塗膠單元最多可以容納4種光刻膠。2.最高產能達到80WPH。3.小占地麵積,高可靠性,高穩定性,易於維護,低CoO。   4.客製化開發。
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