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  • 產品名稱: KS-F300-6C6D 300mm堆疊式塗膠顯影機
  • 基片尺寸: 300mm
  • 適用材料: -
  • 適用工藝: 前道90nm光刻塗膠顯影工藝

用於前道300mm規模生產線,滿足90nm光刻的塗膠顯影工藝。
1.堆疊式結構,容納spin單元數量最大為12,包括6個塗膠單元和6個顯影單元。容納熱盤塔數量最大為6,容納熱處理單元數量最大為40。每個塗膠單元最多可以容納8種光刻膠。
2.最高產能達到150WPH。
3.小占地麵積,高可靠性,高穩定性,易於維護,低CoO。
4.客製化開發。
 

W5200×D2400×H2300 (mm)
前道大生產線