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  • 產品名稱: KS-S100-2C/3C 星型全自動勻膠機
  • 基片尺寸: 2”,4”,6”
  • 適用材料: 藍寶石/矽/砷化镓 / 二氧化矽 / 鍺 / 陶瓷/砷化镓 / 碳化矽/ 氮化镓
  • 適用工藝: 傳感器芯片製造 /光通信芯片製造/功率芯片製造/LED芯片製造/圖形化襯底製造

適用於2”4″6″標準圓形基片勻膠工藝。

1.整機采用框架結構,主要由盒站單元、傳片單元、勻膠單元、熱處理單元、冷盤恒溫單元、控製係統、光刻膠供應係統及排液係統等組成。

2.工作方式為自動完成勻膠工藝加工過程。

基片尺寸:Ф100mm~Ф150mm

PR類型:正膠/ 負膠/ PI
PR
粘稠度:低粘度<100cp / 高粘度<10,000cp

PR 供應:氣動計量泵/ 電動計量泵
主軸轉速:Max.6,000rpm
度:Max.30,000rpm/s
勻膠單元:Max.3個獨立滴膠嘴 
熱盤單元:50-180℃ 
冷盤單元:18-28
可選單元:FFUTHCAD EBR etc.
外型尺寸:W1400×D1400×H1800 (mm)

半導體照明LED,微機電係統,光通信,功率半導體