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  • 產品名稱: KS-S300-SP 噴霧式塗膠機
  • 基片尺寸: 200mm,300mm
  • 適用材料: -
  • 適用工藝: TSV、MEMS、WLP

 

可在90°角、V形槽等表麵起伏不平基板上均勻塗布光刻膠,有效滿足TSV/MEMS等製程要求。

1、適用於高崎嶇度表麵

2、可靠的側壁和邊緣覆蓋,避免光刻膠堆積於溝槽底部,

3、模塊化結構,工藝單元靈活選配.

基片尺寸:200mm300mm

膠膜厚度:1μm20μm

膠膜均勻性:5μm±5%10%

外型尺寸:W2680×D2000×H2000 ()

先進封裝