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  • 產品名稱: KS-L150-2D直線型全自動顯影機
  • 基片尺寸: 4”-6”
  • 適用材料: 砷化镓 / 碳化矽/ 氮化镓 / 矽
  • 適用工藝: 功率芯片製造

適用於4″、6″標準圓形基片顯影工藝。

  1.整機采用框架結構,主要由盒站單元、提升器單元、傳片單元、顯影單元、熱處理單元、控製係統、顯影液供應係統及排液係統等組成。

  2.工作方式為自動完成顯影工藝加工過程。

片盒

熱盤

熱盤

顯影單元

機械手2

機械手1

片盒

熱盤

熱盤

顯影單元

 
 

基片尺寸:Ф100mm~Ф150mm
顯影液:正膠顯影液(弱堿性) / 正膠顯影液(有機類)
主軸轉速:Max.5,000rpm
加 速 度:Max.30,000rpm/s
顯影單元:Max.2個獨立滴液嘴 
熱盤單元: 50℃-180℃ 
可選單元:FFU,THC, BSR etc.
外型尺寸:W1200×D1300×H1900 (mm)

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