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  • 產品名稱: KS-L150-2C直線型全自動勻膠機
  • 基片尺寸: 4”-6”
  • 適用材料: 砷化镓 / 碳化矽/ 氮化镓 / 矽
  • 適用工藝: 功率芯片製造

片盒

熱盤

熱盤

勻膠單元

機械手2

機械手1

片盒

熱盤

熱盤

勻膠單元

產品描述
  適用於4″、6″標準圓形基片勻膠工藝。

  1.整機采用框架結構,主要由盒站單元、提升器單元、傳片單元、勻膠單元、熱處理單元、控製係統、光刻膠供應係統及排液係統等組成。

  2.工作方式為自動完成勻膠工藝加工過程。

基片尺寸:Ф100mm~Ф150mm
PR類型:正膠 / 負膠
PR粘稠度:低粘度<100cp / 高粘度<10,000cp
PR 供應:氣動計量泵 / 電動計量泵
主軸轉速:Max.5,000rpm
加 速 度:Max.30,000rpm/s
勻膠單元:Max.2個獨立滴膠嘴 
熱盤單元:50℃-180℃ 
可選單元:FFU,CP ,AD,EBR etc.
外型尺寸:W1200×D1300×H1900 (mm)

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