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  • 產品名稱: KS-S150-2D/3D 顯影機
  • 基片尺寸: 4”-6”
  • 適用材料: 砷化镓 / 碳化矽/ 氮化镓 / 矽
  • 適用工藝: 功率芯片製造

  適用於4″、6″標準圓形基片顯影工藝。

  1.整機采用框架結構,主要由盒站單元、傳片單元、顯影單元、熱處理單元、冷盤恒溫單元、控製係統、顯影液供應係統及排液係統等組成。

  2.工作方式為自動完成顯影工藝加工過程。

基片尺寸:Ф100mm~Ф150mm
顯影液:正膠顯影液(弱堿性) / 正膠顯影液(有機類)
主軸轉速:Max.6,000rpm
加 速 度:Max.50,000rpm/s
顯影單元:Max.2個獨立滴液嘴 
熱盤單元: 50℃-180℃ 
冷盤單元:18-28℃
可選單元:FFU,THC, BSR etc.
外型尺寸:H1400×W1400×D1800 (mm)

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