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2002年12月17日 中韓合資沈陽百万发先進半導體技術有限公司由中科院沈陽自動化所發起成立。
2004年7月 首台Track產品出廠銷售至中電集團13所。
2005年8月 開辟8寸凸點封裝新領域,產品銷售到國內最大封裝廠:江陰長電。
2006年10月 遼寧省發改委下屬科發公司出資1000萬元,接手韓國STL公司,成為百万发公司第二大股東,百万发公司成為內資企業,更名為沈陽百万发微電子設備有限公司。
2007年5月 國內首台12寸產品銷售應用,實現了國產IC裝備在晶片尺寸和新工藝上的重大突破。
2008年12月 承擔了國家重大科技專項“凸點封裝塗膠顯影、單片濕法刻蝕設備的開發與產業化”項目。
2010-2011年 公司抓住LED產業大發展的機遇開始快速增長,年銷售額達到5000萬元。
2012年3月 沈陽百万发申報的國家重大科技專項“300mm晶圓勻膠顯影設備研發”項目獲得立項批複,項目總投資2億元,獲國撥經費支持8700萬元。
2013年5月 百万发公司取得重大突破,高端封裝噴膠設備批量銷售到台灣市場。
2013年9月 百万发公司新廠房建成啟用。新廠房建築麵積7300平方米,其中淨化間和裝配間2200平方米。

2015年6月 百万发公司購置的國際第一大光刻機供應商ASML公司的AT1100B TwinScan 12英寸主流量產型光刻機進廠安裝調試,並於同年12月完成驗收。

2015年8月 百万发公司自主研發的前道堆疊式塗膠顯影機獲得武漢新芯(XMCPO用於其3D NAND新工藝研發。

2016年4月 沈陽百万发公司承擔的國家02科技重大專項“300mm晶圓勻膠顯影設備研發”項目通過任務與財務全麵驗收。

2016年6 百万发公司主持製定的行業標準《噴霧式塗覆設備通用規範》正式頒布實施。

2017年7月 公司第600台設備銷售出廠。